第二、研磨液 研磨盤不可以單獨使用在研磨介質(zhì)上面,必須要由研磨液或者拋光液配合使用。研磨液一方面可以降低研磨盤加工時的工作溫度,另一方面可以起到潤滑的作用,不會給加工件造成損害。研磨液一般有水劑和油劑兩種類型,zui簡單的水劑研磨液可以是簡單的肥皂水,一般可以自制而成,這種研磨液制作成本非常低,但是沒有什么防銹能力,所以不太適合研磨金屬制品。而油劑研磨液是按照適當(dāng)?shù)谋壤{(diào)制有機(jī)溶劑而制成的,這種溶劑zui大的缺陷就是制作費用較高。
研磨液按其作用機(jī)理分:機(jī)械作用研磨液,化學(xué)機(jī)械作用研磨液。
機(jī)械作用的研磨液:以金剛石、B4C等為磨料,通過添加分散劑等方式分散到液體介質(zhì)中,從而形成具有磨削作用的液體,稱為金剛石研磨液、碳化硼研磨液等。磨料在分散液中游離分布,利用磨料硬度比待磨工件硬度大的原理,實現(xiàn)工件的研磨、減薄。根據(jù)磨料的表面、顆粒大小及研磨液配置、研磨設(shè)備穩(wěn)定性等情況,研磨完成后,工件表面容易留下或大或小的劃痕。所以,機(jī)械作用的研磨液一般用于粗磨,后續(xù)還需要精密研磨拋光。
化學(xué)機(jī)械作用的研磨液:化學(xué)機(jī)械作用研磨液利用了磨損中的“軟磨硬”原理,即用較軟的材料來進(jìn)行拋光以實現(xiàn)高質(zhì)量的拋光表面,是機(jī)械削磨和化學(xué)腐 蝕的組合技術(shù),它借助超微粒子的研磨作用和化學(xué)腐蝕作用在被研磨的介質(zhì)表面形成光潔平坦表面。所以化學(xué)機(jī)械作用研磨液又稱為化學(xué)機(jī)械拋光液 (Chemical Mechanical Polishing,簡稱CMP)。在一定壓力及拋光漿料存在下,被拋光工件相對于拋光墊作相對運動,借助于納米粒子的研磨作用與氧化劑的腐蝕作用之間的 有機(jī)結(jié)合,在被研磨的工件表面形成光潔表面。
化學(xué)機(jī)械拋光液,根據(jù)磨料不同的分類:
二氧化硅研磨液 ,氧化鈰研磨液,氧化鋁研磨液等。
金剛石研磨液根據(jù)磨料不同的分類:
金剛石研磨液是由金剛石磨料與分散液組成,根據(jù)金剛石微粉的類型分為單晶金剛石研磨液、多晶金剛石研磨液和爆轟納米金剛石研磨液三種。
1、單晶金剛石研磨液
單晶金剛石研磨液具有良好的切削力,加工成本相對較低。廣fan適用于超硬材料、硬質(zhì)合金等硬質(zhì)材料的研磨拋光。既可以提高磨削速率,又可以將磨削過程中產(chǎn)生的大量熱量迅速排走,從而避免工件表面被燒傷。
2、多晶金剛石研磨液
多晶金剛石研磨液利用多晶金剛石良好的韌性,在研磨拋光過程中能夠保持高磨削力的同時不易產(chǎn)生劃傷,為后續(xù)精密拋光加工提供了良好的條件。廣fan用于光學(xué)晶體、陶瓷、超硬合金等各種硬質(zhì)材料的研磨和拋光。
第三、拋光布
拋光布的使用可以提高拋光盤的效率,同時也可以對拋光盤和拋光介質(zhì)起到很好的保護(hù)作用。但是拋光布有一定的使用期限,而且不同規(guī)格的拋光布對工作溫度也有一定的要求。
研磨拋光機(jī)的合理使用離不開上述三種基本輔助材料。它對拋光的質(zhì)量和拋光機(jī)的使用壽命有非常重要的影響。
拋光布輪,主要是用布做成輪式用來拋光,是拋光機(jī)器常用的耗材之一,主要應(yīng)用于打磨的zui后工序拋光,也叫鏡面處理,拋光布具有很好的柔軟性和輕微的磨削力。拋光布的拋光主要目的在于去除研磨引入的表面損傷,獲得便于纖維觀測的光亮面。根據(jù)不同試樣材料及拋光工序,不同材質(zhì)的拋光布應(yīng)用領(lǐng)域也存在差異。
根據(jù)拋光布背部狀態(tài),分為三大類:
1.自粘性襯背拋光布(帶背膠):帶粘性背面,可黏貼于磨盤、轉(zhuǎn)化盤或磁性盤上,便于更換。
2.非粘性拋光布(不帶背膠):非粘性背面,配套壓圈固定使用。
3.磁性襯背拋光布:又名磁性拋光盤,金屬背面,直接牢固磁吸于工作臺,大大方便拋光布的定位、拆除,存儲。