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平面度誤差測(cè)量的常用方法有如下幾種：

1、平晶干涉法：用光學(xué)平晶的工作面體現(xiàn)理想平面，直接以干涉條紋的彎曲程度確定被測(cè)表面的平面度誤差值。主要用于測(cè)量小平面，如量規(guī)的工作面和千分尺測(cè)頭測(cè)量面的平面度誤差。

平面是由直線組成的，因此直線度測(cè)量中直尺法、光學(xué)準(zhǔn)直法、光學(xué)自準(zhǔn)直法、重力法等也適用于測(cè)量平面度誤差。測(cè)量平面度時(shí)，先測(cè)出若干截面的直線度，再把各測(cè)點(diǎn)的量值按平面度公差帶定義(見(jiàn)形位公差)利用圖解法或計(jì)算法進(jìn)行數(shù)據(jù)處理即可得出平面度誤差。也有利用光波干涉法和平板涂色法測(cè)量平面誤差的。

平面度測(cè)量

光波干涉法常利用平晶進(jìn)行，圖為測(cè)量所得的不同干涉條紋。圖中a的干涉條紋是直的，而且間距相等，只在周邊上稍有彎曲。這說(shuō)明被檢驗(yàn)表面是平的，但與光學(xué)平晶不平行，而且在圓周部分有微小的偏差。圖中b的干涉條紋彎曲而且間隔不相等，表明被檢驗(yàn)表面是球形的，平晶有微小傾斜。條紋彎曲度約為條紋間距的1.5倍，表示平面度誤差為1.5×0.3μm=0.45μm。圖中c的干涉條紋呈圓形，同樣表明被檢驗(yàn)表面是球形表面。將條紋數(shù)目乘以所用光束波長(zhǎng)的一半，即得所求的平面誤差為1.5×0.3μm=0.45μm。圖中d的干涉條紋成橢圓形排列，說(shuō)明被檢驗(yàn)表面是桶形的?？梢园迅缮鎴D案作為被檢驗(yàn)表面的等高線，因此可以畫出該表面的形狀。這種方法僅適宜測(cè)量高光潔表面，測(cè)量面積也較小，但測(cè)量精確度很高。平面是由直線組成的，因此直線度測(cè)量中直尺法、光學(xué)準(zhǔn)直法、光學(xué)自準(zhǔn)直法、重力法等也適用于測(cè)量平面度誤差。測(cè)量平面度時(shí)，先測(cè)出若干截面的直線度，再把各測(cè)點(diǎn)的量值按平面度公差帶定義，利用圖解法或計(jì)算法進(jìn)行數(shù)據(jù)處理即可得出平面度誤差。也有利用光波干涉法和平板涂色法測(cè)量平面誤差的。

光波干涉法常利用平晶進(jìn)行，圖為測(cè)量所得的不同干涉條紋。圖中a的干涉條紋是直的，而且間距相等，只在周邊上稍有彎曲。這說(shuō)明被檢驗(yàn)表面是平的，但與光學(xué)平晶不平行，而且在圓周部分有微小的偏差。圖中b的干涉條紋彎曲而且間隔不相等，表明被檢驗(yàn)表面是球形的，平晶有微小傾斜。條紋彎曲度約為條紋間距的1.5倍，表示平面度誤差為1.5×0.3μm=0.45μm。圖中c的干涉條紋呈圓形，同樣表明被檢驗(yàn)表面是球形表面。將條紋數(shù)目乘以所用光束波長(zhǎng)的一半，即得所求的平面誤差為1.5×0.3μm=0.45μm。

2、打表測(cè)量法：打表測(cè)量法是將被測(cè)零件和測(cè)微計(jì)放在標(biāo)準(zhǔn)平板上，以標(biāo)準(zhǔn)平板作為測(cè)量基準(zhǔn)面，用測(cè)微計(jì)沿實(shí)際表面逐點(diǎn)或沿幾條直線方向進(jìn)行測(cè)量。打表測(cè)量法按評(píng)定基準(zhǔn)面分為三點(diǎn)法和對(duì)角線法：三點(diǎn)法是用被測(cè)實(shí)際表面上相距最遠(yuǎn)的三點(diǎn)所決定的理想平面作為評(píng)定基準(zhǔn)面，實(shí)測(cè)時(shí)先將被測(cè)實(shí)際表面上相距最遠(yuǎn)的三點(diǎn)調(diào)整到與標(biāo)準(zhǔn)平板等高；對(duì)角線法實(shí)測(cè)時(shí)先將實(shí)際表面上的四個(gè)角點(diǎn)按對(duì)角線調(diào)整到兩兩等高。然后用測(cè)微計(jì)進(jìn)行測(cè)量，測(cè)微計(jì)在整個(gè)實(shí)際表面上測(cè)得的最大變動(dòng)量即為該實(shí)際表面的平面度誤差。

3、液平面法：液平面法是用液平面作為測(cè)量基準(zhǔn)面，液平面由 “連通罐”內(nèi)的液面構(gòu)成，然后用傳感器進(jìn)行測(cè)量。此法主要用于測(cè)量大平面的平面度誤差。

4、光束平面法：光束平面法是采用準(zhǔn)值望遠(yuǎn)鏡和瞄準(zhǔn)靶鏡進(jìn)行測(cè)量，選擇實(shí)際表面上相距最遠(yuǎn)的三個(gè)點(diǎn)形成的光束平面作為平面度誤差的測(cè)量基準(zhǔn)面。

5、激光平面度測(cè)量?jī)x：激光平面度測(cè)量?jī)x用于測(cè)量大型平面的平面度誤差  。

6、利用數(shù)據(jù)采集儀連接百分表測(cè)量平面度誤差的方法。

測(cè)量儀器：偏擺儀、百分表、數(shù)據(jù)采集儀。

測(cè)量原理：數(shù)據(jù)采集儀可從百分表中實(shí)時(shí)讀取數(shù)據(jù)，并進(jìn)行平面度誤差的計(jì)算與分析，平面度誤差計(jì)算工式已嵌入我們的數(shù)據(jù)采集儀軟件中，完全不需要人工去計(jì)算繁瑣的數(shù)據(jù)，可以大大提高測(cè)量的準(zhǔn)確率。